硅烷有多种制法，目前主流的生产工艺有：硅镁合金法工艺（Komatsu 硅化镁法）；氯硅烷歧化工艺（Union Carbide 歧化法）；金属氢化物工艺（MEMC公司发明的新硅烷法）三种。上海交通大学肖文德教授以多功能反应完善了UCC工艺，在硅烷科技公司应用获得 成功，其反应式为：

　　Si+HCl----------- SiHCl3

　　SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2

　　SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl

　　SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2

　　该完善了UCC工艺中存在的三氯氢硅转化效率低的不足，将其转化率到以平，使我国生产高纯硅烷走到了世界。